تفصیل
FZ واحد کرسټال سیلیکون ویفر,د فلوټ زون (FZ) سیلیکون خورا خالص سیلیکون دی چې د اکسیجن او کاربن ناپاکۍ خورا ټیټ غلظت سره د عمودی فلوټینګ زون پاکولو ټیکنالوژۍ لخوا ایستل کیږي.FZ Floating zone یو واحد کرسټال انګوټ وده کولو میتود دی چې د CZ میتود څخه توپیر لري چیرې چې د تخم کرسټال د پولی کرسټال سیلیکون انګوټ لاندې نښلول کیږي، او د تخم کرسټال او پولی کرسټال کریسټال سیلیکون ترمنځ سرحد د واحد کریسټال کولو لپاره د RF کویل انډکشن تودوخې لخوا خړوب کیږي.د RF کویل او خټکی زون پورته حرکت کوي، او یو واحد کرسټال د دې مطابق د تخم کرسټال په سر کې ټینګیږي.د فلوټ زون سیلیکون د یونیفورم ډوپینټ توزیع ، ټیټ مقاومت توپیر ، د ناپاکو مقدار محدودیت ، د پام وړ کیریر عمر ، د لوړ مقاومت هدف او لوړ پاکیت سیلیکون سره تضمین شوی.د فلوټ زون سیلیکون د Czochralski CZ پروسې لخوا کرل شوي کرسټالونو لپاره د لوړ پاکوالي بدیل دی.د دې میتود ځانګړتیاو سره ، FZ واحد کریسټال سیلیکون د بریښنایی وسیلو په جوړولو کې د کارولو لپاره مثالی دی ، لکه ډایډونه ، تایریسټورونه ، IGBTs ، MEMS ، ډایډونه ، RF وسیله او بریښنا MOSFETs ، یا د لوړ ریزولوشن ذرې یا نظری کشف کونکو لپاره سبسټریټ په توګه. ، د بریښنا وسیلې او سینسرونه ، د لوړ موثریت سولر سیل وغيره.
تحویلي
په ویسټرن مین میټلز (SC) کارپوریشن کې د FZ واحد کرسټال سیلیکون ویفر N-type او P-type conductivity د 2، 3، 4، 6 او 8 انچو (50mm، 75mm، 100mm، 125mm، 150mm او 200mm) په اندازه وړاندې کیدی شي او اورینټیشن <100>, <110>, <111> د ایس-کټ د سطحې پای سره د فوم بکس یا کیسټ په کڅوړه کې د ایس کټ ، لیپډ ، ایچ او پالش سره بهر د کارتن بکس سره.
تخنیکي مشخصات
FZ واحد کرسټال سیلیکون ویفریا FZ مونو کرسټال سیلیکون ویفر د داخلي، n-type او p-type conductivity په غربي Minmetals (SC) کارپوریشن کې د 2، 3، 4، 6 او 8 انچ قطر په مختلفو اندازو (50mm، 75mm، 100mm) کې وړاندې کیدی شي. , 125mm، 150mm او 200mm) او د 279um څخه تر 2000um پورې ضخامت په <100>، <110>، <111> کې د فوم بکس یا کیسټ کڅوړه کې د کټ، لیپډ، ایچ او پالش شوي سطحې پای سره اورینټیشن پراخه لړۍ بهر د کارتن بکس سره.
نه. | توکي | معیاري مشخصات | ||||
1 | اندازه | 2" | 3" | 4" | 5" | 6" |
2 | قطر mm | 50.8±0.3 | 76.2±0.3 | 100±0.5 | 125±0.5 | 150±0.5 |
3 | چال چلن | N/P | N/P | N/P | N/P | N/P |
4 | اوریدنه | <100>، <110>، <111> | ||||
5 | ضخامت μm | 279، 381، 425، 525، 575، 625، 675، 725 یا لکه څنګه چې اړتیا وي | ||||
6 | مقاومت Ω-cm | 1-3، 3-5، 40-60، 800-1000، 1000-1400 یا لکه څنګه چې اړتیا وي | ||||
7 | RRV اعظمي | ۸٪، ۱۰٪، ۱۲٪ | ||||
8 | TTV μm اعظمي | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
9 | کمان/وارپ μm اعظمي | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
10 | د سطحې پای | لکه کټ، L/L، P/E، P/P | ||||
11 | بسته بندي | د فوم بکس یا کیسټ دننه، د کارتن بکس بهر. |
سمبول | Si |
اټومي شمیره | 14 |
اټومي وزن | ۲۸.۰۹ |
د عنصر کټګوري | Metalloid |
ګروپ، موده، بلاک | ۱۴، ۳، مخ |
کرسټال جوړښت | الماس |
رنګ | خړ خړ |
د وېلې کېدو نقطه | 1414°C، 1687.15 K |
د اېشېدلو ټکی | 3265°C، 3538.15 K |
کثافت په 300K کې | 2.329 g/cm3 |
داخلي مقاومت | 3.2E5 Ω-cm |
د CAS شمیره | 7440-21-3 |
د EC شمیره | 231-130-8 |
FZ واحد کرسټال سیلیکون، د Float-zone (FZ) میتود خورا مهم ځانګړتیاو سره ، د بریښنایی وسیلو په جوړولو کې د کارولو لپاره مثالی دی ، لکه ډایډونه ، تایریسټورونه ، IGBTs ، MEMS ، diode ، RF وسیله او بریښنا MOSFETs ، یا د لوړ ریزولوشن سبسټریټ په توګه ذره یا نظری کشف کونکي، د بریښنا وسایل او سینسرونه، د لوړ موثریت سولر سیل او نور.
د تدارکاتو لارښوونې
FZ سیلیکون ویفر